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机台基本规格:

设备规格

主机规格尺寸

2200mm(L)x2000mm(W)x2100mm(H)

总重量(含主机有泵浦)

≈ 1300kg

功能

速度

0.1-3.5M/min

处理宽幅

260mm 双列或 500mm 单列

RF 发生系统

等离子 RF 发生源

8 个 or 10 个(每个 600W,可以选配 )

数字电路控制

配置

等离子密度监控

可以选配

功率 / 温度 / 转速 / 温度监控

* 设备设计及规格可进行调整,以便提高设备性能。 


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